經(jīng)濟(jì)導(dǎo)報(bào)記者 戚晨 

　　10月16日至18日，2023中國(guó)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展（德州）峰會(huì)在山東省德州市舉辦，峰會(huì)期間，德州還舉辦了12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目通線量產(chǎn)儀式。

　　近年來(lái)，山東堅(jiān)持把新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)作為“十強(qiáng)”產(chǎn)業(yè)之首，高位推動(dòng)信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)快速高效發(fā)展。從零開始，歷經(jīng)十年，山東迅速崛起成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要中心：以德州等城市為原點(diǎn)，山東在半導(dǎo)體全國(guó)產(chǎn)業(yè)版圖中獲得一席之地，更融入了全球產(chǎn)業(yè)鏈，劍指芯片產(chǎn)業(yè)，成為行業(yè)高地。

　　“頭雁”引領(lǐng)原創(chuàng)產(chǎn)品和技術(shù)

　　10月16日，山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目通線儀式在德州天衢新區(qū)舉行，該項(xiàng)目一期投資25億元，達(dá)產(chǎn)后可實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)12英寸拋光片10萬(wàn)片，是中國(guó)有研布局的重點(diǎn)項(xiàng)目，也是山東省內(nèi)第一條12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線。

　　通線當(dāng)日，經(jīng)濟(jì)導(dǎo)報(bào)記者走進(jìn)山東有研艾斯生產(chǎn)車間采訪，只見(jiàn)車間內(nèi)工人們身著潔凈服進(jìn)行操作。據(jù)悉，12英寸硅片的生產(chǎn)對(duì)潔凈環(huán)境要求非常高，制作需要經(jīng)過(guò)有線切割、倒角、研磨等40至50道工序，并且對(duì)平整度要求極高。山東有研艾斯總經(jīng)理閆志瑞告訴經(jīng)濟(jì)導(dǎo)報(bào)記者，“硅片直徑300毫米，而頭發(fā)直徑只有100微米，但最終硅片出廠時(shí)最高與最低的平整度誤差不能超過(guò)0.1微米。”在線切割車間，單晶硅經(jīng)過(guò)切割機(jī)操作被切割成厚度僅1毫米的硅片，而這僅僅是硅片切割的首個(gè)環(huán)節(jié)。

　　閆志瑞介紹，作為山東唯一一家生產(chǎn)12英寸大硅片的企業(yè)，硅片直徑越大，對(duì)材料和技術(shù)的要求就越高，制造難度也越大，生產(chǎn)過(guò)程涉及亞微米甚至納米級(jí)別的結(jié)構(gòu)，工藝穩(wěn)定性、產(chǎn)品質(zhì)量參數(shù)一致性、單臺(tái)設(shè)備產(chǎn)能和產(chǎn)品單位成本持續(xù)降低控制等都是需要考慮的因素。

　　“從8英寸到12英寸，不僅僅是尺寸的變大。”閆志瑞對(duì)經(jīng)濟(jì)導(dǎo)報(bào)記者表示，目前12英寸是全世界直徑最大的主流產(chǎn)品，硅片的直徑越大，可利用的面積比例越高，每一個(gè)集成塊的成本就越低，歸根結(jié)底是一個(gè)成本的降低，該項(xiàng)目同樣也是山東省唯一一家制作12英寸硅片的廠家，全部達(dá)產(chǎn)后將形成360萬(wàn)片/年大硅片的生產(chǎn)規(guī)模。

　　據(jù)悉，12英寸硅片技術(shù)參數(shù)要求比8英寸更高，各工藝環(huán)節(jié)需要長(zhǎng)期積累，其中單晶工藝是最為核心的技術(shù)，其決定了硅片尺寸、電阻率、純度、氧含量、位錯(cuò)、晶體缺陷。隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展，硅片趨向大尺寸化和制程精細(xì)化，12英寸硅片為當(dāng)前及未來(lái)較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)的主流產(chǎn)品。

　　“核心技術(shù)、關(guān)鍵技術(shù)，化緣是化不來(lái)的，要靠自己拼搏。我們期待山東更多原創(chuàng)的、創(chuàng)新的技術(shù)和產(chǎn)品。”前來(lái)參觀的行業(yè)人士在接受經(jīng)濟(jì)導(dǎo)報(bào)記者時(shí)表示，當(dāng)前德州的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展正處于重要的戰(zhàn)略機(jī)遇期，要進(jìn)一步放大產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)優(yōu)勢(shì)和優(yōu)越區(qū)位優(yōu)勢(shì)，深度對(duì)接國(guó)際國(guó)內(nèi)資源，廣泛開展產(chǎn)業(yè)合作，培育壯大半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)領(lǐng)頭雁和集團(tuán)軍。

　　布局“一號(hào)產(chǎn)業(yè)鏈”

　　作為此次峰會(huì)活動(dòng)的舉辦地，德州把新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)作為“一號(hào)產(chǎn)業(yè)鏈”，集中精力加大項(xiàng)目招引，壯大產(chǎn)業(yè)集群。

　　“從2017年到多地調(diào)研考察，到2018年7月26日有研半導(dǎo)體項(xiàng)目簽約，再到2020年德州8英寸集成電路用硅片通線量產(chǎn)，如今，有研多個(gè)項(xiàng)目陸續(xù)落地德州，事實(shí)證明，這并不是偶然。有研艾斯于2022年3月份開始動(dòng)工，2023年9月竣工，10月16日舉行通線量產(chǎn)儀式，比預(yù)期時(shí)間提前至少一年�！遍Z志瑞深刻感受到了德州優(yōu)良的營(yíng)商環(huán)境，他告訴經(jīng)濟(jì)導(dǎo)報(bào)記者，半導(dǎo)體行業(yè)依賴產(chǎn)業(yè)環(huán)境，作為德州市新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)鏈上的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)龍頭企業(yè)，目前生產(chǎn)的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、功率器件等多個(gè)領(lǐng)域，重點(diǎn)滿足我國(guó)物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子、工業(yè)制造、手機(jī)攝像頭等領(lǐng)域需求。

　　據(jù)介紹，從2013年引進(jìn)威訊聯(lián)合半導(dǎo)體芯片封裝企業(yè)開始，德州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)強(qiáng)力起勢(shì)，逐步形成單晶硅材料、芯片設(shè)計(jì)、封裝測(cè)試、設(shè)備材料、終端應(yīng)用的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。中國(guó)有研科技集團(tuán)先后投資近百億元在德州建設(shè)7個(gè)項(xiàng)目，已投產(chǎn)4個(gè)，“德州集成電路關(guān)鍵材料基地”正加快建設(shè)。威訊半導(dǎo)體是在亞洲建設(shè)的第2個(gè)生產(chǎn)基地，總投資5億美元，主要生產(chǎn)手機(jī)等通訊產(chǎn)品射頻芯片，行業(yè)內(nèi)綜合排名全球前三。

　　“英望科技公司2020年5月在德州投資年產(chǎn)4000萬(wàn)片智能手機(jī)主板項(xiàng)目，在地方政府領(lǐng)導(dǎo)的幫助下，僅用3個(gè)月時(shí)間便建成投產(chǎn)，累計(jì)產(chǎn)值11.8億元，這讓我們堅(jiān)定了在當(dāng)?shù)剡M(jìn)一步發(fā)展的信心�！鄙綎|英望電子科技有限公司總經(jīng)理胡鑫表示，2021年3月，企業(yè)將總部從深圳遷至德州天衢新區(qū)，在這里一批高端優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目聚“鏈”成“群”，深刻感受到德州半導(dǎo)體（集成電路）產(chǎn)業(yè)生態(tài)的日漸完善蓬勃發(fā)展。

　　德州立足區(qū)位、資源等優(yōu)勢(shì)，搶抓半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“窗口”期，成功競(jìng)速半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“主賽道”�，F(xiàn)有電子信息規(guī)上企業(yè)123家，去年實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入近300億元，其中半導(dǎo)體規(guī)上企業(yè)10家，實(shí)現(xiàn)營(yíng)收70億元。近5年來(lái)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值年均增長(zhǎng)近20%。擁有國(guó)家專精特新“小巨人”企業(yè)3家，省級(jí)“專精特新”中小企業(yè)32家，省創(chuàng)新型中小企業(yè)22家。山東有研入選省級(jí)雁陣型產(chǎn)業(yè)集群領(lǐng)軍企業(yè)庫(kù)，天衢新區(qū)電子信息（集成電路）入選山東省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和特色產(chǎn)業(yè)集群，已成為全省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要增長(zhǎng)極。

　　中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體材料分會(huì)秘書長(zhǎng)林健表示，半導(dǎo)體材料作為支撐國(guó)家信息化建設(shè)、推動(dòng)經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和保障國(guó)家安全的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，越來(lái)越受到全社會(huì)的廣泛關(guān)注，半導(dǎo)體材料屬于高新科技，門檻高、技術(shù)難度大，需要產(chǎn)學(xué)研用各方協(xié)同合作、不斷創(chuàng)新、久久為功，也需要政府與企業(yè)之間以及企業(yè)與企業(yè)之間的協(xié)同謀劃、通力合作、共同發(fā)展。

　　讓“山東造”走向全球

　　“半導(dǎo)體與越來(lái)越多的產(chǎn)業(yè)聯(lián)系到一起，全部達(dá)產(chǎn)后，將形成年產(chǎn)6英寸硅片180萬(wàn)片、8英寸硅片276萬(wàn)片、12英寸硅片360萬(wàn)片、12-18英寸硅單晶504噸、高純?yōu)R射靶材4.3萬(wàn)塊、高純貴金屬213噸，將成為北方最大的集成電路用大硅片生產(chǎn)基地�！遍Z志瑞介紹，5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新一代信息技術(shù)的逐漸成熟，促使半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)不斷進(jìn)步，加之各式智能設(shè)備的普及，日益增長(zhǎng)的半導(dǎo)體市場(chǎng)需求在同步拉動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)規(guī)模的增長(zhǎng)。

　　根據(jù)2022年的數(shù)據(jù)，我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)增速仍保持正增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)到2027年，全國(guó)芯片設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)規(guī)模將超過(guò)1000億美元。近年來(lái)，第三代半導(dǎo)體發(fā)展如火如荼，而硅是半導(dǎo)體行業(yè)中最重要的材料，約占整個(gè)晶圓制造材料價(jià)值的三分之一。目前，90%以上的集成電路芯片是用硅片作為襯底制造出來(lái)的，整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)就是建立在硅材料之上的。

　　為搶抓第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展機(jī)遇，2022年2月，山東省工信廳發(fā)布《山東省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃》，提出到2025年，形成第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈鏈條完善、關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控的產(chǎn)業(yè)體系，保持第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵材料市場(chǎng)領(lǐng)先地位。近年來(lái)，山東通過(guò)培育壯大產(chǎn)業(yè)帶動(dòng)能力強(qiáng)的鏈主企業(yè)，助力企業(yè)提升芯片及器件的設(shè)計(jì)能力，擴(kuò)大產(chǎn)業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

　　經(jīng)濟(jì)導(dǎo)報(bào)記者梳理發(fā)現(xiàn)，在產(chǎn)業(yè)鏈上游材料方面，山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司深耕第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，主要產(chǎn)品包括半絕緣型和導(dǎo)電碳化硅為襯底，所生產(chǎn)的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于微波電子、電力電子領(lǐng)域。元山電子與山東大學(xué)合作成立“山東大學(xué)-元山電子半導(dǎo)體先進(jìn)集成與新能源應(yīng)用研究院”，共同開發(fā)高熱散熱、高性能碳化硅功率模塊。作為“中國(guó)芯片之父”，張汝京70歲牽手青島，創(chuàng)辦（青島）集成電路有限公司，集合芯片設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)3個(gè)環(huán)節(jié)，這也是中國(guó)首個(gè)協(xié)同式集成電路制造 (CIDM) 項(xiàng)目。除此之外，青島已經(jīng)擁有富士康、芯恩、歌爾微電子、京東方、惠科等一批在行業(yè)內(nèi)叫得響的半導(dǎo)體項(xiàng)目。

　　談到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，行業(yè)人士也認(rèn)為，產(chǎn)業(yè)面臨不少“成長(zhǎng)中的煩惱”。林健表示，新興產(chǎn)業(yè)的迅速崛起助推半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入發(fā)展的黃金期，一方面可充分發(fā)揮頭雁企業(yè)的集聚效應(yīng)和示范作用，做精做細(xì)半導(dǎo)體方面的項(xiàng)目招引；另一方面在招才引才上進(jìn)一步放寬政策、提供便利，開辟項(xiàng)目落戶綠色通道，深挖人才培養(yǎng)蓄水池，尤其是頂尖的領(lǐng)軍人才的招引，實(shí)現(xiàn)人才與產(chǎn)業(yè)同頻共振、共生共贏。

　　中國(guó)有研科技集團(tuán)有限公司黨委委員、副總經(jīng)理周旗鋼建議，以德州為例，可以圍繞集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，依托現(xiàn)有龍頭企業(yè)，積極招引關(guān)鍵材料相關(guān)企業(yè)，豐富關(guān)鍵材料種類，補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈條，集聚更多上下游企業(yè)落戶德州。相信未來(lái)山東將有更多半導(dǎo)體企業(yè)在這里落地生根、開花結(jié)果，讓集成電路關(guān)鍵材料“山東造”走向全球。